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TÖYÕ0®ÁÀ�É)Ì(CVD)ÐÅ ³\Õ $Á…º<Ç\¸ 3Æ@Ç ƒ¬Ì¹DÇ ¨ºP´ à¬t¹tº? <11. ìÅì· ¬ÀÉXÇ TÖiÕ<» ¼É¹XÇ pÈ1ÁpÈÈtÇ ´Å5¸ä². 41. 䲑Å\Õ ¹Ò1ÁDÇ ¬ÀÉ”² ¼É¹DÇ ÐÆXÕ”² P´Ø®\¸ 1Á¥ÇܬР ˆÇä². 71. <»¬¹È �É)Ì õ¬ÈÐÅ D¾tÕ è²(Ì<Õõ¼1Á(step coverage)tÇ ¨µ´ÅÄÉä².> `$ 11 a$ 41 b$ 11, 41 c$ 41, 71 8» 6. ä²LÇ ¼QÇÐÅÁ »Å´ÅÀÉ”² \Í…È ÝÀ1Á<» `2@Ç? <<`2><CH3CHCH2OH><H2SO4><H2/Pt><CH3> > `$ CH(CH3)2CHO a$ CH(CH3)2COOH b$ CH(CH3)3 c$ CH3(CH2)2CH3 8» 7. DŤÂ<Õ°¹XÇ iÕ1Á ¼QÇÐÅ ³\Õ $Á…º<Ç\¸ 3ÆÀÉ JÅ@Ç ƒ¬@Ç? << ÿ>< ÿ><CH3COOH><COOH><OH><H+><H2O><COOH><OCOCH3>> `$ tÇ ¼QÇ@Ç ÈР•ÍiÕ¼QÇtÇä². a$ tÇ GIF89a±ú÷€€€€€€€€€ÀÀÀþþþñññäääÖÖÖÉÉÉ»»»®®®¡¡¡“““†††xxxkkk]]]PPPCCC555((( øÌÈø°°ø˜˜ø€€ød`øLHø00øøàȰ˜�`HøäÈøØ°øÌ˜ø¼€ø¬`ø¤Hø˜0øŒø|àpÈd°X˜L€@`0H øüÈøü°øü˜øü€øü`øüHøü0øüøüàäḚ̀°˜˜��`dHLàüÈØü°Èü˜¸ü€°ü` üH˜ü0ˆüxüpä`ÌX°H˜@€0d LÈüȰü°˜ü˜€ü€`ü`HüH0ü0üüä̰˜�dLÈüà°üؘüÈ€ü¸`ü°Hü 0ü˜üˆüxäpÌ`°X˜H€@d0L Èüø°üø˜üø€üø`üøHüø0üøüøüøäàÌȰ°˜˜��d`LHÈäø°Øø˜Ìø€¼ø`°øH¤ø0˜øŒø|øpàdÈX°L˜@€0`$HÈÌø°°ø˜˜ø€€ø`døHLø00øøøàȰ˜�`HàÌøØ°øÈ˜ø¸€ø°dø Lø˜0øˆøxøpà`ÈX°H˜@€0` HøÌøø°øø˜øø€øødøøHøø0øøøøøààÈȳ³˜˜��``HHøÌàø°Øø˜Èø€¸ød°øL ø0˜øˆøxàpÈ`°X˜H€@`0H øÜÈøÔ¸øÌ°øÄ ð´�ऀؘpȈX¸xH°p@ h@˜d8�`8ˆX0xT0pH ˜dx˜dˆ˜d˜xd˜`d˜`p˜`|˜`˜˜`˜x`˜p`˜`x˜`€€€ÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿÿ!ù,±úþÿ H° Áƒ*\Ȱ¡Ã‡#JœH±¢Å‹3jÜȱ£Ç� I²¤É“(SªT’áÊ—0Â4)sæH„Þ,ù/§ÌŸ9yöZSgС7u¶\è3!ÉžA›âüùïBW£ô)UkA©[�Ö< u¬X¨\ŸÝÙu©B°_ÕzuJuÃHlÃÝ .U·ýÞË‘«À X�Jø-N›�#£üXòL£61Ǥ̹³ç‹–C‹Mº´éÑŸS‹Tͺõ`Á®cË®{öì rëÞÍ»·ïß¼1Xô –íQšIy¦{<­ñ�H“.Ý€ ºõëØ³kߎ}ÃpµD•þ_^žyrñçŸÖÞH�;Éê%ñÆ7É�wÚ{¥£-º¶ltªdE'”zÌ^Kím^ðÉÇ ƒ :ÈÝ}­g›k f·`„ F„õQ8l§•XGbw—‡ïuxÝ]G×…YQŠ*r¨¡„Öé˜�ˆ5ÎH#D6>„c}H&Y�‘8d“(*)¥”L)¤S¶´c9å—ÖUù�“ÿX÷À X§À\#d&šj^€ž~zi”pxæ™g22†@\°€  @Vt)ÕŸ�Zè¡,wå“!‘¹€X—À<€€EðqøÏ¥™V·i§ŸBIéRd2�ÝþX¢%i¨T÷�«Ù ׿ªZΈëubµ_T>YÀ[·j¬�ÊñÚ+c¿†éÒ–ÿ4À›Éþè’¬þ9û™€(�*E4��i~ÊÀâkî´eém�Œ9€Áíú@ €Z]غ€H�¦¿ã+RZš ñ\ħžsá˜Þ~“Y�lj.‘ž„Qu €ùýKÔ‹�Θ·ÀæmÏ€‘žþôw=¢b*`ÕÔF¾üŽwqá_²d>ro}ËcŸìȶóÙnt½ï;ž®ƒcÚØ «9fÅå{þ#ÜžçTÃÙ¥°rVSáM(½µ€§zàòvº ¯q&Œ_+4³NtßÙ¤Åù•.ƒÐ;žûNäÀò�‘k¡åÈÅù0ˆ?‹Xê>Ç%¡e.t[tÜÈA2‹†<$©Hù1²‘ á£×(h–Ä-î‰$ÇøVÇn5‡Šž$ ;—À±©®h:sã–PyÄe�’Jìa,û¶<ͱ1<aþ·;Á Ëo$ÜÈ7‰ÉéY�—·Ü1yJH:s5•�›47ó̯| l¤â#£wÍÀPë5M²ßÞ´ö�PmH>-§¢06Îmn%è­©OíÁ³>À@ÐyÏu2K’C"§CêÀ…ÚꀕԽ$ŠÍpb‹«âh×¶9ÇnzDŽɦeFÒ†Bó#Ú�Ž0¢Rêîqî4hönÖ¢Ý%¨g<›WBo¢m�¼"Ó>éf7’ø3OUañ©TW^I ]h@W7PĽÔ#µè¹ð“Ñ¥ý§}¤G/ÉÁ'anšp¥ZÙ9Ã�võ™o�«^· I‘n­¥íLë /ØŽ 6y½«AúÔ–±}5)At•RÈêm ~%ȲÂéµÇ„�–<ì"û——Ý Ð”y+¨Aª£€ x*N\�þ,e#h»ÉÍ®�6�¥ -VKß},†Ê€4P«à>À…ÉMg_<¥Ql¥yÌd9ÅЦö·�ÔŸÊT)L™@X«ñ¾‘ª’E•u&àÚ‹–ÐÀ–ªàÎw^çeÊä†Õê­Q€2¤©d²Ù„$ ¡æúך ]·Í¨£d©-Õ·C¾ŽiÀ?\bŠË²«ü£½~pú<'9ðõÒoÊ›beKˆ*JÀŠÍlÿ Å2–Æž©)[�K6þתdýªZ3ŠžTú—ˆ7£-‹—R�;é&cͯ¥(ÇÒMñ�Ms1róéYï ¬]¬�ò…c,Y ¹œ óþŸ¶«»fU‚3¨ …�Th­‰Ó©ý¤9žm²OÐüœ˜ J�¤9; 8Kl!Œ3܆xCé�¹´(C�øS¬½t¬~’ l'7.’ŽM[eÓ–Øt¾%iϤÜ ×V­~µ˜Ã• `À Pó¦€�¬ŒÙÍÝÔî�1`a#X"jÀ<°eOØ,VouØûá×N›OÑÔ‚Ì{Ùi ï�jÔ]î̺b!ϯ#ò©1‘sVDvÑnåærIJjÔv·3qKóº×¸ÚزÿN#„§ð؈š¯ï+xg¾ +£úuq®ή³’ÈÉÏÄšún¶•´€ë_øþ6�T Q•}k7ýðÖîÑݸ¹Eµ«W -1ÂyЉì$êR½z]‘K™â”Á1ÐUÓD-k9¤EûdÊMŒE Ç»±3ë˜ÇRõ­ò›êFì¯ç8Aœç¶n�~úЧŽÀÅ2}ì /»Ù£>ÒVë[Æ&% ûpv¿Ýç6::ÚOªv€ëÝ­n§»Ï·.÷<Þ½àvüÞ‡¼øy×=ð#zâ#OñÉÿ„ ñvÚÆ£í°ÞcG¥*KüîÞ‰v¿�z.Qî¾(ç—at:äi3wÊ?ÞðŠ×%(ÏØÀHÛ–ó޶½ÿN# ’>‰TG~[�ÖJ¡{Ëø?Þý;;†zòW›6v~ã!þnFª‘ØÊ×½éö§z¸æ?��ã�»Ú�ÖI'“Œé_r#yÿ_߃–…šßyj±7îŽ�Ü÷fV]dKýu[uEl•dIÇA6”bî×9¾%r—B¬·g·D?•Ã\Y&>’2Lø<ÔW€¥ÕD5÷Q¾“K–g}FWg†Wñ—{ÿÖo2rp¤8âÄ8ÚóKÚ÷2UdmÄq ¨qâh#Öqº•|I´ÖJHÕr£¥Qî”C×£@»d‚žÄM<‡FŸôg:…q6WZQXyèCƒº„qki]‡;×WA'6„äGyCTE¹%8¢‘€7fPƒƒiãrðV8ËGJV8xÒgPu%€ÂrþÅðWBYFa·BœW7kç;ø`´yÎõAÖÇ9¤µGm¸X tT9hrgˆ[ãC9ÝfXE§|ÌgufØ�`'B„X«~Sh†½G<3= ä†ðÃs-hp“ˆ^�%i³A†nDÁˆ5~±�‰p*7qÌ8†ÃØI¶Hv¡]]ØT±wj\ˆˆgL†�w�ÑvȘ}¨¦ƒ„(n©ö?æw‚Õè‚�ÕT‰”8�ÎÔV¦�Aç�ó—ŒÆèžƒ{ÚdC¿—rçg�SI³¨ql'Œ"d[ã3J¯øu9“�½÷sÓØKcÄ[ßW‚¢·‹#8ŠL³D3¸Wù‚2·£ØƒìWþußÖzù‹Ø‘ ˆ<µq¡ÈŠém+ù|çV�œØ†gÕ4ïׄ…A|hÅ’Uƒ))Mê(OYVØhnÝF#”5W?yŒv6Iq‰4jõˆ•-–Žôöl–a.ð'—rÉ–˜å–Ñ]€ €zÉ—AÆhjÙ’òÖб‰q2¸‘˜v ”‡h{…ÉÀà*'C™–Ù˜”—ƒ—ãE2îU,š"FŒhy¸Á€š½±š‘šºáš©8eÄ“‘™8R%¹I`Ý¡™—9—G•š*K›¢›ÄIh§é_ :xI-‚œÑYIÐ!Êy›ô¸œþÑ‚œ bÂ� r�]Ù–K62¶²›èù)êùÖ›ÿ°ž‹v—}¤@%TïyœÿpŸé‰NÅÉŸìéŸ÷ óišò¦O…,Õi�ÿ� ï9�*žàÙ º±P©T'æù[I�Y ßéªPú Ú¡z÷Á¡P\Ê™¹deù ,·"V3*-1ÚŸ4z+Ä–å�ÍI�™\þ9¡ÛÉ j j¤!T¤Yž!$:ø7}|XJÉ•Kf/Õ)-JJœF:œ0B! 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